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“森創”TS系列交流伺服系統在單晶硅生長爐上的應用
時間:2019-06-11
“森創”TS系列交流伺服系統為某單晶硅生長爐生產企業提供了定制化設計方案,實現了軟軸提拉型單晶硅生長爐提拉過程的精確控制。

     在光伏技術飛速發展的今天,利用單晶硅所生產的太陽能電池可以直接把太陽能轉化為光能,實現了邁向綠色能源革命的開始。單晶硅是一種非常好的半導材料,用于制造太陽能電池、半導體器件等產品的生產和深加工制造。用單晶硅制成的電子設備已廣泛應用科技、軍事、民用等于各個領域。軟軸提拉型單晶硅生長爐是在惰性氣體環境中,以石墨電阻加熱器,將一定純度的硅材料熔化,用提拉法生長無位錯單晶硅,其提拉控制的精度與性能直接影響單晶硅生成的數量和質量。

       和利時電機公司為北京某企業提供了單晶硅生長爐伺服控制的定制化設計方案,實現了軟軸提拉型單晶硅生長爐提拉過程的精確控制。

       單晶硅生長爐的提拉過程需保證A、B兩軸同步控制,并具備互鎖功能,即A軸報警時B軸立即停止工作,制動器動作鎖住電機。TS系列交流伺服驅動系統通過設置編碼器輸出接口,讓A軸編碼器的輸出信號作為B軸驅動器的輸入信號以此保證A、B兩軸絕對同步;并在程序中設置使能信號長短判斷,當使能信號的脈沖寬度足夠長時,判斷為正常使能信號;當使能信號的脈沖寬度較短時,判斷為給電機的回零位信號,觸發系統停機,轉手動調節設備位置。


 

TS系列伺服驅動系統突出特點:

CANopen通信功能:實現了CANopen通訊協議在伺服系統中的應用,定義了4類標準的通信接口:SDO(服務數據對象)、PDO(過程數據對象)、NMT(系統管理命令)和特殊對象,實現通信、網絡管理和緊急情況處理等功能,物理介質基于ISO1189標準。

伺服全閉環控制:針對定位精度或動態響應高的設備,解決中間環節傳動帶來的精度誤差,最終實現高精度、高響應性定位。

高精度定位:配置23位(八百萬線)高精度絕對值碼盤,伺服系統控制精度及整體性能與國外品牌產品發展同步。

示波器功能:在TS伺服驅動器新增示波器功能,可以通過PC機監控特性曲線及修改驅動器參數,方便伺服特性現場調試。

 

 

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